Име на продукта: Мишена за разпръскване на цирконий

Клас на материала: Zr702 (ASTM B493 клас R60702)

Степен на чистота: 99,95% (3N5) на метална -базирана (Hf-без)

Основни приложения: Усъвършенствани полупроводникови опаковки, оптично покритие, заден електрод на слънчеви клетки, микроелектронен слой за свързване (PVD процес)

Производствени стандарти: Съответства на ASTM B493/B493M-14 (Спецификация за изковки от цирконий и циркониева сплав) и SEMI M13-1102 (Обща спецификация за мишени за разпръскване)

Теоретичната плътност на циркониевата мишена за разпръскване е 6,51 g/cm³, нейната плътност е по-голяма или равна на 99,0%, нейната топлопроводимост е 22,6 W/m·K, а нейният коефициент на топлинно разширение (20–300 градуса) е 5,7 × 10⁻⁶ /K. Тези параметри са измерени стойности за мишени от Zr702 с висока-чистота в стандартно закалено състояние, подходящи за приложения с високо{10}}мощно DC/RF магнетронно разпръскване и показват термична стабилност, по-висока от 99,9% чистота на материали.

Качество на повърхността на продукта и изисквания за микроструктура:

Размер на зърното: По-малко или равно на 50 μm (средно), измерено чрез EBSD (дифракция на обратно разсейване на електрони), със стандартно отклонение на разпределението на размера на зърното По-малко или равно на 15 μm.

Грапавост на повърхността (Ra): По-малка или равна на 0,8 μm, измерена с помощта на 3D оптичен профилометър (ISO 4287), без драскотини, вдлъбнатини и вдлъбнатини.

Cracks/Delamination: Not permitted. Measured using ultrasonic C-scan (ASTM E213), any crack >0.5 mm in length or delamination >1 mm² се отхвърля.

Микроструктура: Равномерна равноосна -фазова структура. SEM (500 × увеличение), без пори, включвания и сегрегация.

Всички мишени са уплътнени чрез горещо изостатично пресоване (HIP), за да се осигури якост на свързване на границата на зърното, по-голяма или равна на 180 MPa, отговаряйки на изискването за липса на разслоение след повече от или равна на 500 часа непрекъснато разпръскване.

Спецификации за опаковане и доставка за циркониева мишена за разпръскване (съвместимост с GHS и IEC):

Вътрешна опаковка: Вакуумно запечатана (по-малка или равна на 1×10⁻³ mbar) + пълна с аргон с висока -чистота (99,999%), в съответствие с ASTM F2095.

Външна опаковка: двуслойна-влаго{1}}устойчива торба от алуминиево фолио + EPE омекотяваща пяна + дървена щайга (съвместима с ISPM-15), IEC 60068-2-78.

Етикет за защита от влага: Влагоустойчива + индикаторна карта за влажност (По-малко или равно на 5% RH), в съответствие с IEC 60068-2-30.

MSDS/SDS: Съвместим с GHS 7-ма ревизия, съдържащ 16 стандартни раздела, включително рискове от експлозия на Zr прах (P201, P261, P304+340), OSHA 29 CFR 1910.1200. Транспортен етикет: UN 1399 (не-запалим твърд метал) + корозивни вещества.

Всяка кутия включва пакет десикант (силикагел) и записващо устройство за влажност. Контрол на температурата по време на транспортиране: 5–30 градуса, относителна влажност по-малка или равна на 40%.

ЧЗВ

В: Можете ли да предоставите типични казуси от клиенти на мишена за разпръскване на цирконий?

О: Десетте най-големи производители на полупроводници в света, включително TSMC, Samsung Electronics, Intel и SK Hynix, са косвени крайни -потребители на циркониеви мишени. Техните усъвършенствани процеси (като възли под 5nm) широко използват Zr702 мишени за метални бариерни слоеве, интерфейсни пасивиращи слоеве и взаимосвързани структури, депозирани с помощта на PVD оборудване като Applied Materials Endura® и Lam Research Kiyo®. Циркониевите мишени по този начин са вградени като ключови функционални материали в техните масови производствени процеси.

Водещи международни компании за дисплеи и фотоволтаици, като LG Display, Samsung Display и First Solar, използват циркониеви мишени с висока-чистота в покритието на електродите на OLED панелите и производството на задните електроди на слънчевите клетки CIGS, за да постигнат ниско-съпротивление, висока-стабилност на отлагане на метален тънък слой, отговаряйки на изискванията за голяма-площ, висока-еднородност на производството.

Производствените-компании от висок клас в аерокосмическата и отбраната, включително Lockheed Martin, Boeing и Northrop Grumman, използват циркониеви мишени за PVD отлагане на устойчиви на висока-температура, корозия-покрития, нанесени върху компоненти на двигатели, системи за термична защита и радарни стелт структури. Техните стандарти за доставки са строги, изискващи съответствие с AS9100D сертификация и проследимост на партидата COA.

В: Приемате ли банкови акредитиви?

О: Да, приемаме акредитиви (L/C) като метод на плащане за покупки. Моля, поддържайте връзка.

В: Мишените за разпръскване на цирконий сертифицирани ли са по принцип по ISO 9001, IATF 16949 и AS9100?

О: Да, в областта на мишените за разпръскване на цирконий за индустриални и -приложения от висок клас, сертификатите ISO 9001, IATF 16949 и AS9100D се превърнаха в универсални и задължителни стандарти за влизане.

Популярни тагове: циркониева мишена за разпръскване, Китай циркониева мишена за разпръскване производители, доставчици, фабрика