Мишени за разпръскване с висока чистота: какво влияе върху стабилността на тънкия филм?

Jun 14, 2026 Остави съобщение

Защо качеството на мишената за разпръскване има значение

Мишените за разпрашаване с висока{0}}чистота са ключови изходни материали за физическо отлагане на пари. В полупроводникови, оптични покрития, декоративни покрития, покрития на инструменти и изследователски приложения целта влияе пряко върху състава на филма, производителността на частиците и стабилността на отлагането.

High purity sputtering target material

Мишените за разпрашаване с висока{0}}чистота се използват като изходни материали за PVD и магнетронно разпрашаване.

 

Фактори, които влияят върху стабилността на филма

Няколко фактора на материала и обработката могат да повлияят на ефективността на разпръскване. Чистотата определя нивото на примеси на отложения филм. Плътността влияе върху стабилността на плазмата и живота на целта. Размерът на зърното и микроструктурата влияят върху ерозионното поведение. Повърхностното покритие и контролът на почистването помагат за намаляване на частиците, преди целта да влезе в камерата за покритие.

Контролен списък със спецификации за купувачи

  • Материал и чистота: мишена от титан, цирконий, никел, волфрам, молибден, тантал, ниобий или сплав
  • Форма и размер: кръгла, правоъгълна, планарна или персонализирана рисунка
  • Поддържаща плоча и залепване: потвърдете дали е необходима услуга за залепване
  • Повърхностно покритие: машинно обработено, полирано, почистено и вакуумно опаковано
  • Проверка: състав, плътност, размери и визуална проверка на повърхността

Custom sputtering target for thin film deposition

Геометрията на целта, плътността и покритието на повърхността влияят върху стабилността на отлагането и използването на целта.

 

Кога да поискате персонализирани цели

Персонализирани цели се препоръчват, когато оборудването за нанасяне на покритие има специален дизайн на скоба, изисквания за охлаждане, разположение на магнетрона или структура на свързване. Купувачите трябва да предоставят чертежи, целева дебелина, допустими отклонения, позиция на отвора за винт, материал на опорната плоча и работна мощност, ако има такива.

CLJZ Възможност за доставка на метал

Shaanxi Changlong Jiuzhou Metal Technology доставя високо{0}}чисти метални суровини и мишени за разпрашаване, включително продукти от титан, цирконий, никел, волфрам, молибден, тантал и ниобий. Компанията може да поддържа пробни поръчки, персонализирана обработка, експортно опаковане и техническа комуникация преди оферта.