Като опитен доставчик на циркониеви мишени разбирам критичното значение на проверката на качеството, за да гарантираме, че нашите продукти отговарят на най-високите стандарти. В тази публикация в блога ще се задълбоча в ключовите критерии за проверка на качеството на циркониеви мишени, споделяйки прозрения от моя дългогодишен опит в индустрията.
Анализ на химичния състав
Един от основните аспекти на проверката на качеството на циркониеви цели е анализът на техния химичен състав. Чистотата на циркония е решаващ фактор, тъй като пряко влияе върху работата на целта в различни приложения. Например в полупроводниковата индустрия се изискват циркониеви мишени с висока чистота, за да се гарантира качеството на отлагането на тънък слой.
Ние използваме усъвършенствани аналитични техники като масспектрометрия с индуктивно свързана плазма (ICP - MS), за да определим точно концентрацията на различни елементи в циркониевата цел. Мишената трябва да има висок процент цирконий, обикновено над 99,9% за повечето приложения от висок клас. Всички примеси, като хафний, желязо, никел и титан, трябва да бъдат внимателно контролирани. По-специално хафният е често срещан примес в циркония и съдържанието му трябва да се поддържа в определен диапазон. За някои приложения съдържанието на хафний може да е по-малко от 1%.
Тестване на физическите свойства
Плътност
Плътността на циркониевата цел е важно физическо свойство. Подходящата плътност показва хомогенна структура и правилен производствен процес. Ние измерваме плътността на целта, използвайки принципа на Архимед. Отклоненията от стандартните стойности на плътност могат да предполагат проблеми като порьозност или неправилно легиране. За цели от чист цирконий, плътността е около 6,52 g/cm³. Ако измерената плътност е значително по-ниска, това може да означава, че има кухини или пори в целта, което може да повлияе на нейната ефективност по време на разпръскване.
твърдост
Твърдостта е друго важно физическо свойство. Циркониева мишена с подходяща твърдост може да издържи на механичните натоварвания по време на процеса на разпрашаване. Ние използваме методи за изпитване на твърдост като тестове за твърдост по Викерс или Рокуел. Твърдостта на целта трябва да е постоянна в целия й обем. Непостоянната твърдост може да доведе до неравномерно разпръскване и да повлияе на качеството на отложения филм.
Размер на зърното
Размерът на зърното на циркониевата мишена има значително влияние върху ефективността на разпръскване. Финозърнестите мишени обикновено осигуряват по-равномерно разпръскване и по-добро качество на филма. Използваме металографски техники, за да изследваме структурата на зърната на целта. Средният размер на зърното трябва да бъде в определен диапазон, в зависимост от приложението. Например, в някои приложения за оптично покритие се предпочита финозърнеста мишена със среден размер на зърното под 100 микрометра.
Проверка на качеството на повърхността
Грапавост на повърхността
Грапавостта на повърхността на циркониевата мишена е критична за ефективността на разпръскване. Гладката повърхност осигурява равномерно разпръскване и по-добра адхезия на отложения филм. Ние измерваме грапавостта на повърхността с помощта на профилометри. Грапавостта на повърхността трябва да бъде в рамките на определен толеранс. За повечето приложения грапавостта на повърхността (Ra) трябва да бъде по-малка от 1 микрометър. Ако повърхността е твърде грапава, това може да предизвика образуване на дъга по време на разпръскване, което може да повреди целта и да повлияе на качеството на филма.
Повърхностни дефекти
Всякакви повърхностни дефекти като пукнатини, вдлъбнатини или драскотини могат значително да повлияят на работата на циркониевата цел. Извършваме визуална проверка при ярка светлина, за да открием такива дефекти. Освен това можем да използваме методи за безразрушителен тест, като ултразвуков тест или тест с вихрови токове, за да открием вътрешни дефекти, които може да не се виждат на повърхността. Дори малки пукнатини могат да се разпространяват по време на разпръскване, което води до повреда на целта.
Точност на размерите
Точността на размерите на циркониевата мишена е от съществено значение за нейното правилно инсталиране и работа в оборудването за разпръскване. Ние измерваме дължината, ширината, дебелината и диаметъра (за цилиндрични мишени) на мишената с помощта на прецизни измервателни инструменти като дебеломер и микрометри. Размерите трябва да са в рамките на посочените допустими отклонения. Например, ако мишената е проектирана да пасва на определена камера за разпръскване, всяко отклонение в нейните размери може да попречи на правилната инсталация или да причини неравномерно разпръскване.
Тестване на производителността
Скорост на разпръскване
Скоростта на разпръскване е ключов показател за ефективността на циркониеви цели. Отнася се до скоростта, с която целевият материал се изхвърля по време на процеса на разпрашаване. Ние измерваме скоростта на разпръскване чрез отлагане на филм върху субстрат за определен период от време и след това измерване на дебелината на отложения филм. Желателна е постоянна скорост на разпрашаване, тъй като осигурява равномерно отлагане на филм. Вариациите в скоростта на разпръскване могат да бъдат причинени от фактори като целеви състав, качество на повърхността и размер на зърното.
Качество на филма
Качеството на филма, депозиран с помощта на циркониевата мишена, също е важен аспект от тестването на ефективността. Ние изследваме филма за свойства като еднородност на дебелината, адхезия и кристална структура. Рентгеновата дифракция (XRD) може да се използва за анализиране на кристалната структура на филма, докато тестовете за надраскване могат да се използват за оценка на неговата адхезия. Висококачественият филм трябва да има еднаква дебелина, добра адхезия към основата и правилна кристална структура.
Нашата продуктова гама
Като водещ доставчик на продукти от цирконий, ние предлагаме широка гама от артикули, свързани с цирконий. Освен циркониеви мишени предлагаме иПромишлени части за обработка на цирконий, които се използват в различни индустриални приложения. НашитеТел от чист цирконий и сплав от цирконийе известен със своето високо качество и отлична производителност. И нашитеЦиркониеви пръти и пръти от циркониева сплавсе използват широко в различни индустрии.
Заключение
Проверката на качеството на циркониеви цели е цялостен процес, който включва множество критерии, от анализ на химичния състав до тестване на ефективността. Като се придържаме към стриктни стандарти за проверка на качеството, можем да гарантираме, че нашите циркониеви мишени отговарят на нуждите на нашите клиенти в различни индустрии, като полупроводници, оптични покрития и космическа промишленост.
Ако се интересувате от нашите циркониеви цели или други циркониеви продукти, приветстваме ви да се свържете с нас за доставка и допълнителни дискусии. Ние се ангажираме да предоставяме висококачествени продукти и отлично обслужване на клиентите.
Референции
- „Наръчник за процеси и технологии за отлагане на тънък филм“ от Питър К. Бахман
- „Материалознание и инженерство: Въведение“ от Уилям Д. Калистър младши и Дейвид Г. Ретуиш